回顧了近50積年來中國真空計量的停滯歷史。意思囊括真空(全壓力)測量與校準、分壓力測量與校準、氣體微流量測量與校準,居中可對中國真空計量的歷史淵源和異狀有一個完全的理解。1、小引
2、真空測量與校準2.1、中國真空(全壓力)測量的起步階段
20世紀50年歲至60年歲,國內(nèi)上研制出多種真空測量規(guī),況且真空測量鉆研正在于一個沉悶時代,這為中國真空測量的快捷停滯提供了可供龜鑒的成熟教訓。在1957年,中國就曾經(jīng)有了徹底試制的壓縮式真空規(guī)、熱負極水解規(guī)、超高真空B-A規(guī)、皮喇尼規(guī)和冷負極水解規(guī)等多種真空測量家伙[5],鉆研者不僅從實踐上面,而且從實際上面對該署真空規(guī)繼續(xù)了深刻鉆研。
1966年,蘭州物理鉆研所還研制順利了存在中國獨特格調(diào)的熱負極中真空水解規(guī)。規(guī)管的電極采納呆滯正交軸對稱構造,電子減速極由一對平行相連的寬極板組成,離子收集極由一對平行相連的狹極板組成。2組極板在空間是相互垂直和軸對稱的,其軸線上有始終熱式敷氧化釔銥負極。該中真空水解規(guī)測量規(guī)模為10-4～50Pa,規(guī)管系數(shù)零散性小于10%。
壓縮式真空規(guī)是20世紀60年歲中國真空測量鉆研的一個熱點,許多鉆研者都做了簡報。第一套(三只)行政區(qū)劃規(guī)范的壓縮式真空規(guī)在1962年由行政區(qū)劃科委計量局、上海計量局、復旦大學、上海玻璃廠競爭制成[13],并經(jīng)過行政區(qū)劃鑒定。李旺奎在1964年研制的壓縮式真空規(guī)[14],發(fā)現(xiàn)附著屏障是毛細血管中水銀不規(guī)定靜止的重要起因。因而,在毛細血管內(nèi)名義涂一層3μm油層(DC2704),到底肅清了毛細血管中水銀靜止的異樣景象,并采納雙磨口閥門構造,到底肅清了水銀蒸氣旋效應,能在1～10-3Pa規(guī)模繼續(xù)相對真空測量和對其余絕對真空規(guī)繼續(xù)校準。中國國民生量院也對原始的壓縮式真空規(guī)繼續(xù)了改良,預防了水銀蒸氣旋效應。
20世紀60年歲對冷負極水解規(guī)也做了一大批鉆研,囊括潘寧規(guī)、磁控規(guī)和反磁控規(guī),還提出了一些新構造冷負極水解規(guī),如無磁場冷負極水解規(guī)[22]、正反磁控規(guī)[21],但該署冷負極水解規(guī)只能遮蓋的測量規(guī)模為102～10-6Pa。2.2、20世紀70年歲以來真空測量的停滯
20世紀70年歲,中國真空測量有了更大停滯,真空測量家伙的品種越來越多,生意化程度也越來越高。1971年,北京真空量具廠研制出一種熱負極水解規(guī)[25],該規(guī)采納敷氧化釔的銥負極擴大下限,并采納新型電極構造,經(jīng)過電參數(shù)和電極轉(zhuǎn)換,兌現(xiàn)一只規(guī)管測量10～10-7Pa的壓力。爾后,在擴大熱負極水解規(guī)測量上上限上面做了一大批鉆研作業(yè),如1974年清華大學研制的測量規(guī)模為102～10-3Pa的低壓力水解規(guī)[26];1975年,北京大學研制的測量規(guī)模為102～10-4Pa的低壓力水解規(guī)[27];1975年,陳建中研制的測量規(guī)模為10～10
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