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皮拉尼(Pirani)真空規(guī)的修整

皮拉尼(Pirani)真空規(guī)的修整
皮拉尼真空規(guī)是電鏡中的一個(gè)不足道元件。真空零碎真空狀態(tài)的檢測(cè)及抽真空程序的主動(dòng)掌握都要靠它提供的各檢測(cè)點(diǎn)的訊息來兌現(xiàn)。它如敗壞勢(shì)必莫須有儀器的畸形運(yùn)行。我室飛利浦EM400裝了英國(guó)產(chǎn)Edwards公司的PRCT10-P型皮拉尼規(guī)。它是一個(gè)非金屬的住口管,與玻璃制品構(gòu)造相反,海內(nèi)沒有生產(chǎn),亦很難買到,無處修整。其價(jià)錢亦較貴。咱們將它翻開后,發(fā)現(xiàn)它很輕易修復(fù),修復(fù)后的皮拉尼規(guī)已運(yùn)用半年多,性能很好。
它利用水熱絲的電阻熱度特點(diǎn)和熱度隨壓強(qiáng)變遷關(guān)系,將壓強(qiáng)變換為電阻測(cè)量。如圖3-9所示。用水橋測(cè)出待測(cè)電阻。圖中Rx為電阻式規(guī)管,接入待測(cè)真空零碎。R為與Rx構(gòu)造相反的彌補(bǔ)管,用來對(duì)消條件熱度的莫須有。Ro用來調(diào)節(jié)零點(diǎn),即調(diào)電橋失調(diào)。
圖3-9電阻式真空規(guī)
  

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